一個基礎(chǔ)的x-y掃描系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)較為精簡：它包含兩面反射鏡片，這些鏡片通過馬達(dá)帶動，可以將入射的激光束導(dǎo)向設(shè)定區(qū)域（操作區(qū)域）的任意位置。一套平場透鏡（f-透鏡）用于確保焦點(diǎn)固定在操作區(qū)域的平面上。在使用普通的Nd:YAG激光器時，常見的掃描面積從40×40平方毫米（焦距=100毫米）到180×180平方毫米（焦距=254毫米）不等；對于高次諧波激光器和半導(dǎo)體激光器，其掃描面積則從40×40平方毫米（焦距=100毫米）到120×120平方毫米（焦距=163毫米）之間，具體數(shù)值取決于平場透鏡的焦距大小。顯然，所需掃描面積越廣，工作距離也會相應(yīng)增加。如果在掃描鏡組前方替代平場透鏡為聚焦透鏡配合移動透鏡，掃描面積和操作距離還能進(jìn)一步擴(kuò)展。這樣的配置允許掃描范圍最大達(dá)1200×1200平方毫米，工作距離提升至1500毫米。

在很多實(shí)際應(yīng)用中，定位速度是一個關(guān)鍵要求。舉例來說，在焦距為163毫米的情況下，于120×120平方毫米區(qū)域內(nèi)，掃描速度可高達(dá)10米每秒。通過簡單幾何計算可知，反射鏡片微小的角度誤差可能導(dǎo)致激光焦點(diǎn)在操作平面上產(chǎn)生明顯的偏移。因此，無論是對于掃描馬達(dá)、反光鏡，還是鏡架裝置，都需具備高精度的定位能力。同時，掃描馬達(dá)和其驅(qū)動電路會因工作發(fā)熱，引發(fā)熱漂移，從而帶來上述的定位誤差。典型的熱增益漂移參數(shù)低于30弧度每開爾文，增益漂移值則小于50 ppm每開爾文（針對每個軸）。所以，為了維持高精度和持久的穩(wěn)定性，一種有效方法是選用配備水冷系統(tǒng)的掃描設(shè)備。例如，Superscan-II-LD型號就是這樣的選擇，其長期穩(wěn)定性可達(dá)24小時內(nèi)小于200弧度（而不帶主動冷卻時低于300弧度）。另外，集成自動校準(zhǔn)功能的專業(yè)系統(tǒng)類型可以進(jìn)一步降低增益漂移至20弧度每開爾文，位置漂移控制在5 ppm每開爾文，并在8小時內(nèi)保持穩(wěn)定性小于20弧度。